特點：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領域。
特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內建偏光測量光學模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術規(guī)格參數：|
型號
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MTM-3020MA
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工作臺
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金屬臺尺寸(mm)
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500 x 330
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玻璃臺尺寸(mm)
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350 x 250
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X、Y軸運動行程(mm)
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300 x 200
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手動Z軸行程(mm)
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120
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自動Z軸行程(mm)
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2
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外形尺寸(mm)
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825 x 660 x 910
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儀器重量(kg)
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130
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X、Y、Z軸分辨力(μm)
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0.5
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自動Z軸分辨力(μm)
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0.1
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示值誤差(μm)
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E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) |
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物鏡放大倍數誤差
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包括畸變在內的放大率誤差≦0.08%
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落射照明光源
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可調高亮度鹵素燈
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底光照明光源
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可調高亮度LED燈源
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目視系統
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影像系統
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物鏡放大倍數
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5X、10X、20X、50X
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5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
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目鏡放大倍數
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10X雙鏡筒
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1/2”CCD攝像機
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視頻總倍率
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50X ~500X
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142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)
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單層透明膜厚度測量模組
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高精度測量模式
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快速測量模式
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厚度測量范圍
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100nm ~300nm
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300nm ~500nm
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500nm ~3μm
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3μm ~20μm
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分辨力
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5nm
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5nm
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7.5nm
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0.1μm
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