用途：
INSPECT系列測(cè)量金相顯微鏡適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域。
 
儀器特點(diǎn)：
■ 高精度大理石底座和立柱、有效保證極高的穩(wěn)定性及剛性
■ 大理石工作臺(tái)設(shè)計(jì)、配合精密V型交叉導(dǎo)軌、長久使用不會(huì)變形，有效保證極高的機(jī)械精度
■ 高品質(zhì)光學(xué)系統(tǒng)和高分辨率CCD，確保擁有高品質(zhì)的測(cè)量畫面
■ 三環(huán)八區(qū)LED環(huán)形表面冷光源及輪廓光源、避免燈光發(fā)熱而影響精密工件的變形
■ 可選配日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪
■ 自主研發(fā)影像測(cè)量儀軟件、功能強(qiáng)大、操作簡單
 
技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)		INSPECT300	INSPECT400	INSPECT500
X、Y軸行程（mm）		300*200	400*300	500*400
載物臺(tái)玻璃尺寸(mm)		357*257	457*357	557*457
Z軸行程（mm）		100
X、Y、Z軸分辨率 (μm)		1
長度標(biāo)準(zhǔn)		光柵位移傳感器
精度 (μm)		2.5+L/150 L=被測(cè)工件長度，單位：mm
儀器操作		手動(dòng)
圖像檢測(cè)裝置		高分辨率CCD攝像機(jī)
五段變倍鼻輪物鏡倍數(shù)		5X、10X、20X、50X
目鏡		WF10X
測(cè)量軟件		專業(yè)2D測(cè)量軟件
光源	反射照明	同軸落射光源
	透射照明	LED平行透射光源
電源		AC100~240V 50/60Hz