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金相顯微鏡系列

金相顯微鏡MTM-6065H/MTM-6090H

2019-11-08 15:47


特點:

測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

特點:

1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導向,保證了機械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定,提高了測量精度

3. X、Y、Z三軸伺服控制,定位精度高、速度快,運行平穩(wěn)

4. 同軸光/底光測量

5. 內(nèi)置偏光測量光學模塊

6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件,高清晰進口1/2"彩色攝像機

7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置,可適應復雜工件的測量

8. 可實現(xiàn)Z軸自動對焦

9. 具有偏光和DIC檢測功能

10. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度


技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號
MTM-6065H
MTM-6090H
工作臺
玻璃臺尺寸(mm)
1070 x 640
1070 x 640
X、Y軸運動行程(mm)
600 x 650
600 x 900
Z軸行程(mm)
200
外形尺寸(mm)
1800 x 1350 x 1450
儀器重量(kg)
1300
1500
X、Y軸光柵尺分辨力(μm)
0.5
Z軸光柵尺分辨力(μm)
0.1
示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/200) μm  (L為測量長度,單位mm)

物鏡放大倍數(shù)誤差
包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源
可調(diào)高亮度鹵素燈
底光照明光源
可調(diào)高亮度LED燈源
 
目視系統(tǒng)
影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)
5X、10X、20X、50X(可選配100X)
5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數(shù)
10X雙鏡筒
1/2”CCD攝像機
視頻總倍率
50X ~500X
142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)