產(chǎn)品用途：
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。

產(chǎn)品特點(diǎn):
● 納米深度3D檢測(cè)
● 高速、無(wú)接觸量
● 表面形狀、粗糙度分析
● 非透明、透明材質(zhì)皆適用
● 非電子束、非雷射的安全量測(cè)
● 低維護(hù)成本

專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）：
● 提供多功能又具友好界面的3D圖形處理與分析
● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能
● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式
● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Roughness）與起伏度
● （waviness）的測(cè)量分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)（Wafer）
● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析
● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能
● 量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出

高速精密的干涉解析軟件(ImgScan)：
● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
● 垂直高度可達(dá)0.1nm
● 高速的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果
● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺(tái)X、Y、Z位置數(shù)字式顯示，使檢測(cè)目標(biāo)尋找快速又便利
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得很好的的干涉條紋對(duì)比
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇
● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌 專利號(hào)：第11577927號(hào)
● 具有自動(dòng)補(bǔ)點(diǎn)功能
● 可自行設(shè)定掃描方向

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：